高純石墨燒結盤,石墨盤,燒結石墨盤,石墨盤加工,銅管燒結石墨盤,微熱管燒結石墨盤,石墨盤加工廠,石墨盤生產廠家
高純石墨燒結盤具有許多明顯優勢,在多個工業范疇發揮著重要作用,以下從特性、使用場景、制備工藝及外表處理等方面打開介紹:
特性
高純度與高安穩性:碳含量超過99.99%,在2000℃以上仍能保持結構安穩,熱膨脹系數低至4.3×10??/K,保證高溫環境下尺寸精度。
卓越導熱與導電性:導熱系數高達120-195W/(m·K),導電性比非金屬礦高百倍,適用于需求高效熱傳導或電學功能的場景。
耐腐蝕與抗氧化:常溫下耐酸堿腐蝕,高溫抗氧化功能經過外表涂層(如碳化硅)可進一步提高,延長使用壽命。
自潤滑與低摩擦:層狀結構賦予其自潤滑特性,摩擦系數低至0.05-0.1,削減磨損并降低能耗。
高精度加工性:可加工至平面度<0.1μm,滿意12英寸晶圓加工需求,適用于半導體等精密制作范疇。
使用場景
半導體制作:作為晶圓加工基板,支撐3nm芯片制作,經過梯度燒結技能優化層間應力,提高彎曲強度至450MPa。
高溫燒結與熱處理:用于金屬熔融澆鑄、陶瓷燒結等工藝,承受高溫無變形,保證產品一致性。
航空航天:使用于航空發動機葉片制作,在1600℃環境下壽命延長400小時,滿意極點工況需求。
新能源范疇:適用于電池資料燒結,其高純度與化學安穩性可防止雜質引進,提高電池功能。
制備工藝
原料選擇與提純:選用天然石墨或人造石墨,經過浮選、堿酸法、氫氟酸法等工藝將碳含量提純至99.99%以上。
高溫燒結:在2000℃以上真空或慵懶氣氛中燒結,構成高度有序的晶須結構,增強機械強度與熱安穩性。
脫碳處理:在高溫無氧環境中去除殘留雜質,進一步提高純度與化學安穩性。
外表處理
碳化硅涂層:構成致密、耐磨損、高耐腐蝕的涂層,延長使用壽命并實現高純度外表結構。
鍍層與化學處理:增加耐磨性、防腐性,提高在高溫高壓環境下的安穩性。