石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的？
作者：http://www.expbook.cn
發布時間：2022-03-16 22:34:09
石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的？
深圳石墨模具舟晶圓裝載室：太陽能行業使用，配合PECVD載具，裝載硅片，準備中效、高效過濾器，保證吹送的空氣達到凈化要求。
深圳石墨模具舟的工作原理：
空氣經過高效過濾后，阻尼層被均勻壓緊，使潔凈的氣流垂直單向送入晶片裝載工作區，保證了工作區的清潔度達到工藝要求，操作人員在潔凈的環境下將硅片裝載到石墨舟內。
深圳石墨模具船的主要特點：
1.石墨舟裝卸車能夠準確定位；
2.采用不銹鋼制造，整機結構牢固可靠；
3.使用三個GK系列高效空氣過濾器。
4.PECVD載具可傾斜15度或內部旋轉180度；
5.凈化風機噪音小于50dB。
6.確保工作區的潔凈度達到工藝要求的100級。
本文出自東莞市捷誠石墨制品有限公司官網：http://www.expbook.cn 權威發布， 東莞市捷誠石墨制品有限公司是一家集銷售、應用開發，產品加工的石墨專業廠家，專門為模具行業、機械行業、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏產業等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品，歡迎致電13549365158更多關于石墨制品方面信息，可回本網站產品頁面詳細了解點擊：石墨制品 石墨模具 石墨坩堝 石墨轉子 石墨軸承 石墨板 石墨棒 石墨匣體 石墨熱場 真空爐石墨制品 電子石墨模具